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日志

从微光到真相:EMMI技术如何破解ESD失效的 “达芬奇密码”

已有 248 次阅读| 2025-8-25 11:48 |系统分类:芯片设计

Emission Microscopy (EMMI, 微光显微镜) 是一种基于光子发射探测原理,用于半导体失效分析的非破坏性检测技术。其核心原理是通过高灵敏度探测器(如深制冷CCD或InGaAs传感器)捕捉失效器件在通电状态下产生的微弱光子辐射信号,从而定位缺陷或异常区域。

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1EMMI示意图

EMMI发光机制分两种:1、热辐射:ESD(静电放电)损伤可能导致局部短路或漏电,产生焦耳热,发出红外光;2、载流子复合发光:PN结反向击穿、栅氧击穿等失效会伴随电子-空穴对的复合发光(可见光或近红外光)。同时,EMMI的工作模式也分两种:1、静态模式:检测恒定偏置下的发光点(如漏电点);2、动态模式:结合时域分析,捕捉瞬态发光信号(如ESD事件中的瞬间放电)。 

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图2:EMMI结果:(a)失效样品;(b)良品

EMMI非破坏性检测的特性,使其成为先进制程(<7nm)失效分析的首选方法之一。主要适用于以下失效机理的定位与分析:1ESD/EOS损伤:静电放电(ESD)或过电应力(EOS)导致的PN结击穿、栅氧损伤、金属熔融等。2、漏电失效:如PN结漏电、栅极漏电、闩锁效应(Latch-up)等。3、短路缺陷:金属桥接、多晶硅短路、层间介质击穿等。4、闩锁效应(Latch-up):寄生SCR结构触发导致的异常电流路径。  

ESD失效分析中,EMMI的主要作用包括:1. 失效点定位:ESD损伤通常伴随局部高电流密度,EMMI可快速定位热点(Hot Spot),如PN结反向击穿或栅氧击穿位置。2. 损伤模式判断:不同发光模式对应不同失效机理(如均匀发光可能为栅氧击穿,点状发光可能为金属熔融)。3. 动态ESD事件分析:结合TLP(传输线脉冲)测试,可观测ESD事件瞬态发光,分析ESD保护电路响应特性。

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3:底层金属互连失效

 a背面EMMI热点定位图像 bFIB检测搭配衬底与底层金属ESD击穿 

EMMI作为ESD失效分析的核心技术,具有快速、非破坏性的优势,尤其适用于发光类失效的定位。未来,结合AI、超分辨成像及多方法联用,EMMI将在先进半导体工艺的ESD可靠性分析中发挥更重要的作用。


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