ESD是高压IC的“阿喀琉斯之踵”，在液晶驱动、车载电源等高压（HV）集成电路中，静电放电（ESD）防护设计长期面临一个矛盾：保护器件可能在正常工作时“自毁”。例如，横向双扩散MOS（LDMOS）作为常用ESD保护器件，其维持电压（Vh）往往低于工作电压（Vcc），导致噪声误触发寄生双极晶体管（BJT），引发闩锁效应（latch-up）甚至烧毁芯片 。本文将结合IEEE最新研究，解析高压ESD设计的核心挑战与创新方案。

一、问题本质：ESD保护窗口的“三明治法则”

理想的ESD器件I-V特性需满足三个关键参数（图1）：

触发电压（Vt1）：必须低于内部电路击穿电压（VBD），确保ESD事件中优先导通；

维持电压（Vh）：需高于Vcc，避免正常工作时闩锁；

导通电阻（Ron）：尽可能低以分散大电流。

 图1：ESD器件的I-V特性需落入“保护窗口”（蓝色曲线）

行业痛点：传统LDMOS的Vh通常比Vcc低30%～50%，例如在24V BCD工艺中，Vh仅15V左右，极易被电源噪声触发。

二、失效机制：从“寄生BJT”到“热失控”

1、寄生BJT的“隐形杀手”角色

LDMOS的PNP-NPN寄生结构在ESD事件中形成可控硅（SCR）通路，但Vh不足时，Vcc会持续维持BJT导通，导致局部过热 。

2、测量误差的陷阱

传输线脉冲（TLP）测试中，短脉冲（100ns）会高估Vh（因自热效应未充分显现），而实际应用中的长脉冲（如1μs）可能使Vh下降20%以上 。

三、创新方案：从器件到系统的三级防护

1. 器件级：SCR嵌入与布局优化

Poly-Bending（PB）技术：通过弯曲多晶硅栅布局，延长载流子路径，提升Vh至Vcc的1.2倍以上（实验室数据） 。

堆叠场氧结构：将多个LDMOS垂直堆叠，累加Vh（如40V CMOS工艺中，双堆叠使Vh从

18V提升至42V）。

2. 电路级：动态触发与协同钳位

自基极触发技术：利用衬底电流动态调节触发阈值，避免误动作。

TVS二极管协同设计：在芯片级ESD路径中串联TVS管，利用其快速响应（ns级）分担浪涌能量。

3. 系统级：IEC 61000-4-2合规性设计

LCD驱动IC需通过20kV空气放电测试，需在PCB级部署ESD枪能量泄放路径，并优化TCP封装接地。

四、未来挑战：工艺缩放与协同设计

1、纳米工艺的薄栅氧危机

45nm以下高压工艺中，栅氧厚度仅5-8nm，ESD设计需平衡VBD与漏电，目前业界倾向采用**DeMOS（Drain-Extended MOS）结构替代传统LDMOS 。

2、ESD与I/O的协同设计（Co-Design）

传统“先I/O后ESD”流程导致过设计，新兴方法要求ESD团队早期介入，例如在USB3.0接口中，局部钳位电路可减少主保护面积达50%。

结语：ESD设计的“平衡术”

高压IC的ESD防护本质是触发速度、维持电压与工艺成本的三角博弈。随着汽车电子和显示驱动需求爆发，未来五年内，基于AI的ESD仿真工具和第三代半导体材料的集成或将成为破局关键 。