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能力维度 | 单层Guard Ring | 双层Guard Ring | 优势提升机理 |
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闩锁防护 | 阻断单一载流子路径(空穴/电子) | 同时阻断空穴+电子路径(P环+N环嵌套) | ▶ 切断双向寄生BJT导通回路,触发电流提升10倍以上 |
噪声隔离 | 抑制20~40dB衬底噪声 | 抑制50~70dB衬底噪声 | ▶ 双环形成级联低阻泄放通道,噪声吸收效率倍增 |
少子注入防护 | 仅收集单一极性载流子 | 同时收集电子+空穴 | ▶ 避免PNP/NPN寄生管被意外触发 |
工艺适应性 | 在>40nm工艺有效 | 在≤28nm FinFET工艺仍保持高可靠性 | ▶ 应对先进工艺中降低的阱电阻(R<sub>well</sub>↓) |
┌───────────────────┐ 敏感电路区域 → │ N-Well Guard Ring │ ← 接VDD(收集空穴) │ P+ Guard Ring │ ← 接VSS(收集电子) └───────────────────┘
内环(P+):紧贴被保护电路,重掺杂接VSS,快速吸收电子。
外环(N-Well):包围P环,接VDD,捕获空穴并建立高电位壁垒。
协同效应:相当于在电路周围构建双向载流子“捕集网”。
双环电阻模型:
(A为环接触面积,双环并联显著降低衬底电阻)
实测数据:在180nm CMOS中,双环比单环降低衬底噪声耦合30dB@100MHz。
问题:数字开关噪声通过衬底干扰模拟采样电路。
双环方案:
ADC Core → P-ring → N-ring → 数字逻辑区
效果:SNR提升≥6dB(实测数据)。
问题:电机驱动芯片中dV/dt噪声引发闩锁。
双环方案:
功率MOS外围嵌套双环+深N阱。
触发电流从单环的150mA提升至2A。
问题:高频衬底耦合导致谐波失真。
双环方案:
双环 + 屏蔽墙(Metal Fence)
输出谐波降低15dBc(@28GHz)。
设计代价 | 优化策略 |
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面积增加2~3倍 | ▶ 仅在噪声敏感区使用(如PLL/LNA) ▶ 环宽按载流子扩散长度优化(L<sub>p</sub>/L<sub>n</sub>) |
寄生电容增大 | ▶ 高频电路改用深槽隔离(DTI) ▶ 环与电路间距≥3μm减少C<sub>coupling</sub> |
布局复杂度上升 | ▶ 自动化DRC脚本检查环连接性 ▶ 采用标准单元库中的预制环结构 |
FinFET/纳米片工艺:
双环需配合 “深n阱+埋层电源网”(如TSMC 16FFC工艺)。
3DIC:
双环演变为 TSV电磁屏蔽腔(如HBM与逻辑die的隔离)。
SOI工艺:
因埋氧层存在,可简化为 单环+衬底触点阵列。
工作电压>5V 的BCD工艺功率器件
≥12位精度 的模数混合电路
毫米波频段(>24GHz)RF前端
车规级/AEC-Q100认证 芯片
设计箴言:
“单环防闩锁,双环治噪声,深阱定乾坤”
—— 在先进工艺中,双环已成为高可靠设计的必要成本而非可选项。