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闩锁效应(Latch-up)防护
N型环:包围PMOS,接电源(VDD),收集空穴。
P型环:包围NMOS,接地(VSS),收集电子。
本质:在CMOS工艺中,寄生PNP-NPN结构可能形成正反馈通路,导致大电流烧毁芯片。
Guard Ring方案:
效果:切断寄生晶闸管路径,提升触发电流阈值(数十倍以上)。
噪声隔离(关键!)
低阻通路(重掺杂)快速导出衬底电流。
深度优化:Deep N-well + Guard Ring可形成局部隔离“岛”(如RF LNA)。
衬底噪声耦合:数字电路开关噪声通过硅衬底干扰敏感的模拟/RF电路。
Guard Ring作为“吸噪声沟渠”:
防止载流子注入
收集高边电路(如电荷泵)注入衬底的少子,避免干扰邻近电路(如存储器单元)。
面积 vs. 性能
敏感电路(如PLL)用 Double Ring(N+P环);
一般区域用单环。
矛盾:更宽/双环结构隔离效果更好,但占用芯片面积(成本↑)。
优化方向:
工艺依赖性
SOI/SiGe工艺天然高隔离,Guard Ring设计可简化。
阱电阻降低 → Guard Ring有效性下降。
需结合 Triple Well(深n阱) 实现3D隔离。
先进工艺(<28nm):
特色工艺:
频率响应
分布式衬底触点 + Guard Ring网格化布局。
衬底噪声波长接近芯片尺寸 → Guard Ring退化为“局部接地”。
高频(>5GHz)局限:
解决方案:
混合信号布局范例
| 数字逻辑区 | ADC模拟区 | |------------------|---------------------| | VDD/VSS网格 | → P+ Guard Ring → | | (低阻抗供电) | ← Deep N-well ← | | | → N+ Guard Ring → |
关键点:Guard Ring需与电源网格低阻连接(避免环自身成天线)。
RFIC中的特殊实践
“Guard Ring + 屏蔽墙”:
在LNA/VCO周围增加金属层垂直屏蔽(如M1到TOP层),阻断电磁耦合。
可靠性增强
ESD防护协同设计:
Guard Ring作为ESD电流的次级泄放路径(与主ESD器件配合)。
场景 | 传统设计 | 优化方案 | 效果提升 |
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40nm CMOS ADC | 单一P+环 | Deep N-well + 双环 | SNR提高 6dB |
5G PA模块 | 无环(依赖间距) | 环形深槽隔离 + 接地环 | 谐波失真降低 15dB |
90nm 电源管理IC | 大尺寸Guard Ring | 分段式环 + 局部去耦电容 | 面积节省 30%,噪声相当 |
不仅是“环”:它是噪声管理、可靠性、工艺协同的系统工程。
设计黄金法则:
“在正确的层级(阱/衬底/金属)、以最小代价实现物理隔离”。
未来趋势:
3DIC中Guard Ring将演变为 “跨层电磁屏蔽腔” (如硅通孔TSV阵列围栏)。
在设计Guard Ring时,需持续追问:“它阻隔了什么?代价是什么?是否有更优解?” —— 这才是芯片工程师的深度思考。