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MOS工艺里面,为什么一般都用Nwell来做隔离

已有 163 次阅读| 2025-6-25 14:52 |系统分类:芯片设计

一、物理原理:PN结的天然隔离特性

  1. 反向偏置PN结的耗尽区

    • N-well与P型衬底(P-sub)形成 PN结,当N-well接电源电压(VDD)、P-sub接地(GND)时,PN结处于反向偏置状态。

    • 反向偏置会在结区形成耗尽层(Depletion Region),该区域载流子浓度极低,电阻极高(可达兆欧级),可阻断相邻器件的电流泄漏。

  2. 寄生二极管的阻断作用

    • N-well/P-sub构成的寄生二极管在反向偏压下截止,阻止衬底电流横向流动,实现器件间的电学隔离。


二、N-well对比P-well的三大优势

特性N-wellP-well
载流子迁移率电子迁移率(≈1350 cm²/V·s) 高于 空穴(≈480 cm²/V·s)空穴迁移率低,导致PMOS性能差
耐压能力反向击穿电压更高(因电子电离率低)击穿电压较低,易引发漏电
抗闩锁效应可抑制寄生NPN管触发(衬底为P型)寄生PNP管更易导通,闩锁风险高

关键点:N-well工艺中,PMOS做在N阱内,NMOS直接做在P衬底上,既保证PMOS性能,又简化工艺。


三、工艺兼容性:与CMOS流程无缝集成

  1. 单一阱结构简化制造

    • 传统P-well工艺:需同时制作N-well和P-well,增加光罩和离子注入步骤。

    • N-well工艺:仅需制作N阱,NMOS直接利用P型衬底,减少30%工艺复杂度。

  2. 避免闩锁效应(Latch-up)

    • N-well/P-sub结构可增大寄生双极型晶体管的基区宽度,提升触发电流阈值(典型值>1mA),降低闩锁风险。

    • 配合保护环(Guard Ring)(N-well加N+环、P-sub加P+环)可进一步阻断寄生电流路径。

  3. 衬底偏压控制灵活

    • P型衬底可直接接地,通过体效应(Body Effect) 调节NMOS阈值电压,而N-well接VDD可固定PMOS的体电位。


四、隔离性能的量化对比

参数N-well隔离深槽隔离(DTI)
隔离耐压20~50V(中压)>200V(高压)
寄生电容较高(约1fF/μm²)极低(≈0.1fF/μm²)
工艺成本(标准CMOS工艺)高(需刻蚀深槽+填充)
面积占用较大(需数μm间距)小(亚微米级隔离墙)


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