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反向偏置PN结的耗尽区
N-well与P型衬底(P-sub)形成 PN结,当N-well接电源电压(VDD)、P-sub接地(GND)时,PN结处于反向偏置状态。
反向偏置会在结区形成耗尽层(Depletion Region),该区域载流子浓度极低,电阻极高(可达兆欧级),可阻断相邻器件的电流泄漏。
寄生二极管的阻断作用
N-well/P-sub构成的寄生二极管在反向偏压下截止,阻止衬底电流横向流动,实现器件间的电学隔离。
特性 | N-well | P-well |
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载流子迁移率 | 电子迁移率(≈1350 cm²/V·s) 高于 空穴(≈480 cm²/V·s) | 空穴迁移率低,导致PMOS性能差 |
耐压能力 | 反向击穿电压更高(因电子电离率低) | 击穿电压较低,易引发漏电 |
抗闩锁效应 | 可抑制寄生NPN管触发(衬底为P型) | 寄生PNP管更易导通,闩锁风险高 |
✅ 关键点:N-well工艺中,PMOS做在N阱内,NMOS直接做在P衬底上,既保证PMOS性能,又简化工艺。
单一阱结构简化制造
传统P-well工艺:需同时制作N-well和P-well,增加光罩和离子注入步骤。
N-well工艺:仅需制作N阱,NMOS直接利用P型衬底,减少30%工艺复杂度。
避免闩锁效应(Latch-up)
N-well/P-sub结构可增大寄生双极型晶体管的基区宽度,提升触发电流阈值(典型值>1mA),降低闩锁风险。
配合保护环(Guard Ring)(N-well加N+环、P-sub加P+环)可进一步阻断寄生电流路径。
衬底偏压控制灵活
P型衬底可直接接地,通过体效应(Body Effect) 调节NMOS阈值电压,而N-well接VDD可固定PMOS的体电位。
参数 | N-well隔离 | 深槽隔离(DTI) |
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隔离耐压 | 20~50V(中压) | >200V(高压) |
寄生电容 | 较高(约1fF/μm²) | 极低(≈0.1fF/μm²) |
工艺成本 | 低(标准CMOS工艺) | 高(需刻蚀深槽+填充) |
面积占用 | 较大(需数μm间距) | 小(亚微米级隔离墙) |