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日志

有关于smic018BCD工艺的几个疑问

已有 7 次阅读| 2025-12-25 13:57 |系统分类:芯片设计

疑问1:为何33K和40K不同厚度的顶层金属,在DC时过流能力都是7mA/um;而在AC和IPeak时,过流能力有较大差异?
疑问2:大于20V的NLDMOS的NBL为什么会有Slot?不知道在工艺上有什么特殊操作和考量?

DC

DC



  • 20V

    20V

  • 24V

    24V

芯片制造过程中有多次热退火,热退火会让离子进一步扩散,深埋层HVBN经多次的热退火再扩散最终形成均匀N型埋层,浓度也会比没Slot的低,以此提高耐压。

不是的吧,HVBN开孔能降低HVBN浓度,后面多道工序都涉及到退火,HVBN注入的离子肯定会重新分布的,应该会连上;
开孔是为了节约一层光罩,不然要一个低浓度HVBN,一个高浓度HVBN两层光照,工序也多了;
降低浓度是为了提高耗尽区宽度来提高耐压,所以只在高压的HVBN上有SLOT开孔。


都不是很严谨的解答:

1.过流能力那里40K厚度我就直接按照10mA/um算了,一般来说没问题,真功率管上的数据还是要靠R3d类似的软件去跑一下电流密度。

2.NBL是会扩散的,挖slot应该是为了控制浓度,在做jdv的时候,NBL这一层会往里缩很多,猜测就是统一的操作,来达到对应iso对应sub的耐压


peak 电流计算

输入12V 输出1.2V 使用电感 6.8UH , 一开始设计时最大电流设计在3A
现在想知道当电流在1A时跟0.3A的ripple 跟 peak 电流
是否是带入下面公式算出ripple = 0.317A
要算1A的peak电流   就带入   1A + 0.317A /2
要算0.3A的peak电流 就带入 0.3A + 0.317A /2
这样满怪的电流不管是1A或是0.3A , ripple 都不变

如果变成12V输入 ,5V 输出电感一样是6.8UH
计算出来的ripple 是0.84A
假使现在的输出电流是0.3A , 则peak = 0.3 + 0.84A/2
这样peak 电流就会高达0.72A , 这样量测出来会是0.3A的电流吗?


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