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怎么创建ring？

已有 1310 次阅读| 2024-4-17 20:22 |个人分类:LayoutArt·关于Layout|系统分类:芯片设计

以下文章来自于我的知识星球“版图设计layoutArt”。

Ntap/Ptap ring在Layout中都要用，在本文，将以N型的ring（ntap）为例，和大家分享创建ring的方法。

首先，需要了解ntap包含哪些layer？常见的工艺，ntap包含OD，metal1，Contact，nplus和NWELL。接下来以图说明如何创建ring（以下涉及到的layer及参数请以实际使用的PDK为准）。

1. 在Layout界面，先选择一个layer作为参考layer，比如选择OD，然后Create ==> Multipart Path，再按快捷键F3出现创建ring的界面；

2. 在Create Multiparty Path界面，Template Name填上ntap，Choppable默认是勾选的(勾选上，这个layer就可以切断，)，Width根据工艺来填，这填0.2（0.2um）；然后点击右下角的Subpart，进入ROD Subpart界面；

在ROD Subpart界面，可以添加metal1，Contact，nplus和NWELL layer；

(1) 添加Metal1，选上Offset Subpath，Choppable默认是勾上的，Layer选择M1，在这个ntap中，假设Metal1和OD完全重叠，所以Begin Offset和End Offset都填0，Width和OD一样是0.2，Add后如下图所示；

(2) 添加nplus，选上Offset Subpath，Choppable默认是勾上的，Layer选择NP，Begin Offset和End Offset都填0.13，Width是0.46,然后Add ；

(3) 添加NW，选上Offset Subpath，Choppable默认是勾上的，Layer选择NW，Begin Offset和End Offset都填0.3，Width是0.8,然后Add；

(4) 添加Contact，选Subrectangle，Choppable默认是勾上的，Layer选择CO，Begin Offset和End Offset都填-0.1（意思是Contact相对于OD内缩0.1um），Width，Length，Space根据工艺填，这里参数如下图,然后Add；

(5) 下图是最后的效果。如果想要更改ntap的layer参数，选择ntap后快捷键Q，选择Subpart，可以进入Edit ROD Subpart界面，选需要编辑的layer，改好参数后就点击Edit后更改就生效了；

3. 前面的ring是一个Contact的，接下来以两个Contact的ntap为例（更多排Contact的tap可以参考该步骤）；

(1) 作为基准的OD 的Width，比如这里填0.5，做出来的ntap的OD宽度是0.5um；

(2) 添加metal1，nplus和NWELL的方法和前面一个Contact的ntap一样，这里就不详细说明；

(3) 和一个Contact的ntap不一样的地方在添加Contact，两排Contact要添加两次Contact，而这两次不同的地方在Separation的参数；

以下图说明假设两排Contact的space是0.13um；由于基准layer是OD，上排的Contact的中心相对基准OD的中心是正的0.11um，所以Separation是0.11，下排的Contact的中心相对基准OD的中心是负的0.11um，所以Separation是-0.11，最后得到的两排Contact的ntap如下图如所示。