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天线效应和解决措施 2019-10-12: 天线效应：在芯片生产过程中，暴露的金属线或者多晶硅等导体，就象是一根根天线，会收集电荷 (如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长，收集 ...; (3587)次阅读|(1)个评论

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