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天线效应:在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS的栅,那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿,使电路失效,这种现象我们称之为“天线效应”。随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。
解决措施:
●跳线法
●添加天线器件,给“天线”加上反偏二极管。(不能影响正常的功能)
●给所有器件的输入端口都加上保护二极管。对于上述方法都不能消除的长走线上的PAE,可通过插入缓冲器,切断长线来消除天线效应。