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分享 天线效应和解决措施
2019-10-12 09:42
天线效应: 在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅等导体,就象是一根根天线,会收集电荷 (如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS的栅,那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿,使电路失效,这种现象我们称之为“天线效应”。随着工艺技术的 ...
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