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随着芯片技术向先进工艺、高集成度、3D封装演进,传统ESD保护方案在器件级、系统级、封装级及测试标准间面临多维矛盾,导致保护失效频发。
Design house做芯片设计时,常常使用Foundry的IO库,部分ESD设计也是嵌入到IO设计中,Foundry的IO/ESD一般都是经过了silicon proven的,但用到产品中,还是经常发生ESD fail,经过FA,发现IO PAD虽然是完好的,但芯片内部却发生了击穿。
MOS或者Diode ESD器件在产品中已经验证通过了ESD的测试。同样的技术方案用到其他工艺,或者先进工艺中,却发生了ESD fail,并不能像经过ESD测试验收的产品那样有效地保护全芯片。
(上图数据不代表任何foundry)
如上图,随着工艺越新进,ESD design window已经越来越小,同样的技术方案,并不能有效保护全芯片。
有时候即使是同一个工艺平台,同一套IO/ESD设计,用在小规模产品里,ESD性能很好,但在大规模芯片产品里,ESD性能显著下降。相同的IO/ESD设计,在不同的产品设计中,却发挥出不一样的ESD保护效果。
CDM的保护效果在不同产品中的表现差异性更明显,大量的产品和研究表明,如图,相同的CDM level,随着芯片面积的增大,CDM放电电流也会随之增大,那么CDM的保护挑战也越大。
同样在先进封装里,经常在一个package内集成多个die,但这并没有帮助ESD放电,反而,单个die的CDM保护能力都比较高,整体package的CDM能力却很差。
有时候芯片通过了JEDEC/ESDA ESD测试,但在MIL-STD-883,或者AEC-Q100测试中发生ESD失效。
对于功率芯片的ESD保护,较小的ESD面积一般保护能力较差,增加ESD面积后,ESD保护能力并没有显著提升。
高压ESD器件,有时候可以通过2000V,甚至4000V ESD测试,但在500V、1000V ESD测试时发生失效。
在产量过程中,产品已经通过了ESD测试验收,但量产封装/FT后,良率低,甚至发生大比例失效。
有的产品ESD测试后,I-V曲线正常,但芯片功能失效,或者性能下降;失效分析中找不到发亮点/失效点。
ESD失效的本质是半导体技术演进中系统复杂性与物理极限的碰撞。传统“头痛医头”的防护策略已无法应对先进工艺、3D集成和多样化应用场景的叠加挑战。在5nm以下节点,原子级缺陷与系统级寄生参数的耦合效应将更加显著;而在Chiplet、硅光异构集成等新兴架构中,跨介质、跨材料的电荷泄放路径将重构ESD失效模型。需要打破传统模块化思维,将ESD防护视为芯片功能的一部分,而非事后补救措施。唯有如此,才能在摩尔定律逼近物理极限的当下,为芯片可靠性筑起真正的“量子护城河”。