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数字后端的小白 2021-7-20 15:22
有源区有很多种角度理解它，也就有了很多个名字： 有源区是衬底上二氧化硅的开口，提供了注入杂质的通道，所以会叫diffusion，DIFF。。。； 它是场氧化层的反，经典CMOS工艺中，衬底上除了场氧化层的区域，就是有源区，所以也叫反型槽； 厚的场氧化层拿掉之后，最终只能拥有比较薄的氧化层，所以是薄氧区域，有人叫它“薄氧”，THIN； 这块区域，一般比周围氧化层要低洼一下，形似沟槽，所以也叫沟槽区，moat； 它是有源器件的重要组成部分，所以也叫有源区，Acitive Area，AA； ... ...
子非鱼1 2020-8-16 16:33
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