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数字后端的小白 2021-7-20 15:22
有源区有很多种角度理解它,也就有了很多个名字: 有源区是衬底上二氧化硅的开口,提供了注入杂质的通道,所以会叫diffusion,DIFF。。。; 它是场氧化层的反,经典CMOS工艺中,衬底上除了场氧化层的区域,就是有源区,所以也叫反型槽; 厚的场氧化层拿掉之后,最终只能拥有比较薄的氧化层,所以是薄氧区域,有人叫它“薄氧”,THIN; 这块区域,一般比周围氧化层要低洼一下,形似沟槽,所以也叫沟槽区,moat; 它是有源器件的重要组成部分,所以也叫有源区,Acitive Area,AA; ... ...
子非鱼1 2020-8-16 16:33
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