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### DRC Runset1
1. **用来描述工艺规则文件的Design Rule的具体形式是什么?如何把文字和图示结合起来理解,它的显示含义和隐含含义如何分析?**
- **具体形式**:Design Rule的具体形式一般会有文本描述,说明规则的要求,比如某个层的最小宽度、最大间距等;还可能有表格,清晰列出不同条件下的参数值;也会有图示,直观展示规则的具体情况。
- **结合理解**:先看文字部分,了解规则的基本要求和约束条件。然后对照图示,看看文字描述在图里是怎么体现的,比如文字说最小宽度,就在图里找到对应的线宽来加深理解。
- **含义分析**:显示含义就是文字和图直接表达的意思,比较容易看出来。隐含含义可能需要结合工艺知识,像规则背后是为了保证芯片的性能、可靠性等,需要思考为什么会有这样的规则。
2. **最小宽度检查为什么默认需要写Singular, Abut < 90的选项,如果不写,会导致什么问题?**
- **默认写的原因**:写这些选项是为了更精准地进行最小宽度检查。Singular可能是针对单一图形的检查,Abut < 90可能是考虑图形之间的邻接角度,这样能确保在各种情况下都能正确检查最小宽度。
- **不写的问题**:如果不写,可能会导致一些特殊情况检查不准确,比如图形邻接角度特殊时,可能会误判最小宽度,影响芯片制造的准确性。
3. **最大宽度检查为什么不能直接写“大于”号?它的常用三种检查方法的优缺点是什么?**
- **不能直接写“大于”号的原因**:工艺规则里的最大宽度检查可能比较复杂,不是简单的“大于”关系,可能还涉及到图形的形状、邻接情况等多种因素,所以不能直接用“大于”号。
- **三种检查方法及优缺点**:
- **方法一**:精确计算法。优点是检查结果准确,能严格按照规则检查。缺点是计算量可能大,对计算资源要求高,检查速度慢。
- **方法二**:近似估算法。优点是计算速度快,能快速得到大致结果。缺点是不够精确,可能会有一些误差。
- **方法三**:模板匹配法。优点是对于一些常见的图形模式检查效率高。缺点是通用性差,对于不常见的图形可能不适用。
### DRC Runset2
1. **最大间距检查的“孙悟空跳不出如来佛掌心”是什么含义?为什么通过size step inside of layer可以实现该思路?**
- **含义**:“孙悟空跳不出如来佛掌心”形象地表示最大间距检查里,图形之间的间距不能超过规定的范围,就像孙悟空再厉害也跑不出如来佛的手掌心一样。
- **实现思路原因**:size step inside of layer可以通过逐步调整层内图形的大小等参数,来模拟图形之间的间距变化,从而确保间距在规定的最大范围内,就像控制孙悟空在掌心内活动一样。
2. **measure all的选项在哪些条件下使用?为什么nwell和deep nwell的间距检查需要用到该选项?还有哪些检查需要用到该选项?**
- **使用条件**:当需要对所有可能的情况进行测量和检查时使用measure all选项,比如图形的分布比较复杂,有多种可能的间距情况等。
- **nwell和deep nwell间距检查使用原因**:nwell和deep nwell的分布可能比较复杂,有很多不同的位置关系和间距情况,用measure all可以全面测量它们之间的间距,保证检查的准确性。
- **其他检查**:一些复杂的多层结构的间距检查、不规则图形的间距检查等可能需要用到该选项。
3. **复合层的距离检查书写需要有哪些注意事项?**
- 要明确复合层的定义和组成,确保对各层的属性和关系理解正确。
- 注意距离的测量方式,是中心距、边缘距等要确定清楚。
- 考虑复合层之间可能存在的相互影响,比如层与层之间的耦合等情况。
### DRC Runset3
1. **Enclosure检查在哪些条件下需要写outside also?**
当不仅要检查内部的包含关系,还需要考虑外部情况,比如某个图形在外部也需要满足一定的包含规则时,就需要写outside also。比如一个图形除了在内部要被另一个层完全包含,在外部一定范围内也有包含要求时。
2. **End of Line的Enclosure如何实现?**
可以先确定线的端点位置,然后根据规则定义一个包含区域,检查端点是否在这个包含区域内。可以通过坐标计算、图形处理等方法来确定端点和包含区域的关系,实现End of Line的Enclosure检查。
3. **Extension和Enclosure有什么差别,为什么要定义2个不同的检查单词?Extension的露头刚好等于0如何查错?**
- **差别**:Extension主要强调延伸,比如一个图形向外延伸的长度等;Enclosure强调包含关系,一个图形被另一个图形包含的情况。
- **定义原因**:因为它们描述的是不同的规则情况,为了更准确地表达和区分这两种规则,所以定义了两个不同的单词。
- **查错方法**:当Extension的露头刚好等于0时,可以通过精确的坐标计算和图形对比来查错。先确定理论上的露头位置和长度,然后对比实际情况,看是否真的为0,也可以通过一些图形分析工具来辅助检查。
### DRC Runset4
1. **Flatten和hierarchical检查有哪些不同?它的基本原理是什么?投影法和提升法的优缺点是什么?**
- **不同**:Flatten检查是把层次结构展开,变成一个平面的结构来检查;hierarchical检查是按照层次结构进行检查,保留图形的层次信息。
- **基本原理**:Flatten检查是将所有层次的图形合并到一个平面进行统一的规则检查;hierarchical检查是在每个层次分别进行检查,然后综合考虑层次之间的关系。
- **投影法和提升法优缺点**:
- **投影法**:优点是计算相对简单,对于一些规则的层次结构检查效率高。缺点是可能会丢失一些层次信息,对于复杂的层次关系处理不够准确。
- **提升法**:优点是能更好地保留层次信息,对复杂层次结构检查更准确。缺点是计算量较大,检查速度可能较慢。
2. **RectangleEnclosure的具体含义是什么?如何自动构造test pattern来检查该规则?**
- **具体含义**:RectangleEnclosure表示一个图形要被一个矩形完全包含的规则,确保图形在矩形的范围内。
- **构造test pattern方法**:可以先确定规则要求的矩形范围,然后生成不同形状、大小和位置的图形,看这些图形是否能被矩形包含。可以通过编程,利用图形生成工具,随机生成或者按照一定规律生成图形,然后进行检查。
3. **宽金属检查的基本思路是什么?如何通过xcal工具来分析复杂语句的layer依赖关系,如何快速读懂复杂语句?**
- **基本思路**:先确定宽金属的定义,比如宽度超过一定值的金属线。然后检查宽金属的各项规则,如间距、与其他层的关系等。
- **分析layer依赖关系**:在xcal工具里,可以通过工具的图形化界面或者命令行功能,查看语句中涉及的各个层,分析它们之间的引用、约束等关系,工具可能会有专门的功能来显示这些依赖关系。
- **快速读懂复杂语句**:可以先把语句拆分成小部分,理解每个部分的基本含义。然后结合工艺规则和上下文,看各个部分之间是怎么关联的。也可以参考工具的文档和示例,对比理解。
### DRC Runset5
1. **Runlengthspacing的含义是什么? 如何实现该语句?如何自动构造test pattern来检查该规则?**
- **含义**:Runlengthspacing表示图形的连续长度和间距的规则,比如一条线的连续长度和它与其他线的间距之间的关系。
- **实现语句方法**:根据规则要求,通过编程或者使用规则检查工具,编写语句来判断图形的连续长度和间距是否符合要求。可以利用图形的坐标信息和长度计算方法来实现。
- **构造test pattern方法**:生成不同连续长度和间距的图形模式,比如不同长度的线段,设置不同的间距,然后用规则检查工具检查这些模式是否符合Runlengthspacing规则。
2. **LineEnd spacing的含义是什么?如何实现该语句?如何自动构造test pattern来检查该规则?**
- **含义**:LineEnd spacing指的是线段端点之间的间距规则,确保线段端点之间的距离符合要求。
- **实现语句方法**:确定线段端点的位置,计算端点之间的距离,通过代码或者工具语句判断是否满足间距规则。
- **构造test pattern方法**:生成不同位置和方向的线段,改变线段端点的位置,构造出各种端点间距的情况,然后进行检查。
3. **与连接性相关的检查语句如何书写?如何自动构造test pattern来检查该规则?**
- **书写检查语句**:先明确连接性的定义,比如哪些图形应该连接在一起。然后通过判断图形的坐标、重叠区域等信息,编写语句来检查是否连接。可以使用逻辑判断语句,如如果两个图形的端点重合或者有一定的重叠范围就认为是连接的。
- **构造test pattern方法**:生成不同连接情况的图形组合,有连接的、没连接的等,然后用编写好的检查语句对这些图形组合进行检查。
### DRC Runset6
1. **密度检查Density的全局检查和局部检查有何不同?如何实现该语句?如何自动构造test pattern来检查该规则?**
- **不同**:全局检查是对整个芯片区域的密度进行检查,看整体的密度是否在规定范围内;局部检查是对芯片的特定局部区域进行密度检查,关注局部的密度情况。
- **实现语句方法**:对于全局检查,计算整个区域内图形的面积占比等密度指标;对于局部检查,先确定局部区域,然后计算该区域内的密度。可以通过编程,利用图形处理算法来实现。
- **构造test pattern方法**:对于全局检查,生成不同整体密度的芯片图形模式;对于局部检查,生成不同局部密度的图形模式,然后进行检查。
### DRC Runset7
1. **复杂器件的DRC规则如何书写?对应的test pattern如何自动构造?sample gds的图形如何准备,可以自动变换device的每个图形之间的距离吗?**
- **书写DRC规则**:先了解复杂器件的结构和功能,确定各项规则要求,如尺寸、间距、连接性等。然后按照规则检查工具的语法,编写语句来描述这些规则。
- **构造test pattern方法**:根据器件的结构和规则,生成不同参数的器件图形模式,比如不同尺寸、间距的图形组合,进行规则检查。
- **准备sample gds图形**:收集或者创建符合器件基本结构的图形,确保图形的准确性和完整性。可以通过编程或者使用图形编辑工具来准备。