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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网) › 日志

日志

分享改进晶圆制造工艺，探索蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案 ...: 爱蛙科技 2022-10-19 10:45; 满足当今技术创新的繁荣发展和复杂多变的产业环境，半导体代工厂需要定量、准确和高速的过程测量。海洋光学(Ocean Insight)与等离子蚀刻技术的领先创新者合作，探索适用于检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子监测解决方案。客户面临的挑战随着全球对半导体的需求迅速增长，该行业已做好投资于节约成本的工艺 ...; 593 次阅读|0 个评论

分享吸光度的线性度有多重要？: 爱蛙科技 2022-10-15 12:58; 光谱仪的吸光度线性一直受限于复杂和昂贵的仪器。现在，像Ocean ST这样更简单、性价比更高的光谱仪正在实现可媲美科研级光谱仪的测量结果。在这份应用报告中，我们评估了Ocean ST微型光谱仪在蛋白质和DNA测量中的吸光度线性。Ocean ST是最近发布的光谱仪，以其出色的紫外响应（185-6 ...; 599 次阅读|0 个评论

分享赋能半导体、新材料等行业现代化进程，海洋光学推出新一代光纤光谱仪Ocean ST ...: 爱蛙科技 2022-10-8 16:18; 刚刚，海洋光学推出新一代微型光纤光谱仪Ocean ST，以超小体积、出色性能，实现微型光谱仪的重大突破，是名副其实的“掌中宝”，为客户提供超高性价比的体验，为半导体、新材料、生物医疗、环境监测等行业在现代化进程中面对的时代新挑战赋能。近年来，由于全球制造业迎来“工业4.0”时代，经济快速发展以及环境监 ...; 523 次阅读|0 个评论

分享精确跟踪芯片蚀刻过程，用高分辨率光谱仪监测等离子体: 爱蛙科技 2022-10-3 09:24; 在半导体行业，晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时，等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻，并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线，可以精确跟踪蚀 ...; 660 次阅读|0 个评论

分享半导体工艺监测中的光谱应用: 爱蛙科技 2022-9-21 08:47; 根据检测工艺所处的环节，IC集成电路检测被分为设计验证、前道量检测和后道检测。前道量测、检测均会用到光学技术和电子束技术，其中光学量测通过分析光的反射、衍射光谱间接进行测量，其优点是速度快、分辨率高、非破坏性。后道检测工艺是芯片生产线的“质检员”，根据工艺在封装环节的前后顺序，后道检测可以分为CP测 ...; 611 次阅读|0 个评论

分享一文盘点海洋光学紧凑型光谱仪: 爱蛙科技 2022-9-19 10:59; 紧凑型光谱仪具有多功能性能，涵盖紫外、可见光和近红外波长，可用于研究、 OEM和工艺解决方案的多种应用。 1) 海洋新一代光谱仪我们最新的光谱仪结合了光电子设计和组件的最新进展，以及作为我们标志的持久创新。享受伟大的光谱性能，而不需要做任何妥协。 ...; 210 次阅读|0 个评论

分享光谱、多光谱、高光谱，傻傻的分不清？: 爱蛙科技 2022-9-15 11:10; 光谱分析作为自然科学分析的重要手段，光谱技术常常用来检测物体的物理结构、化学成分等指标。图像光谱测量则是结合了光谱技术和成像技术，将光谱分辨能力和图形分辨能力相结合，造就了空间维度上的面光谱分析，也就是现在的多光谱成像和高光谱成像技术。光谱、多光谱和高光谱之间的区别？ ...; 638 次阅读|0 个评论

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