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分享 CMOS集成电路闩锁效应学习笔记: silence201314 2023-11-7 20:51; 部分是为了抄写，加深印象，并没有仔细整理。 CMOS工艺技术中固有的寄生NPN和PNP会相互耦合形成PNPN结构，在一定条件下PNPN结构会被触发，形成低阻通路，产生大电流和高温烧毁集成电路。改善集成电路闩锁效应问题的技术：重掺杂外延埋层工艺降低衬底等效电阻；双阱CMOS可以分别调节NW和PW的掺杂浓度来降低他 ...; 个人分类: ESD学习笔记|530 次阅读|0 个评论热度 11

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