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分享 Layout:为什么65nm工艺的Metal是Clear,而0.5um工艺的是Dark?
冰点火龙 2022-3-11 20:27
接触过比较老工艺(比如0.5um的工艺)的Layout工程师,看过Design Rule的Mask Tooling表格中,金属Metal和通孔Via的Digitized Tone分别是Dark和Clear。之后较先进的工艺(比如65nm的工艺),会发现金属Metal和通孔Via的Digitized Tone都是Clear。两个工艺都是金属Metal,为什么Mask的Digitized Tone会相反呢?这篇文 ...
个人分类: Layout工艺|2844 次阅读|2 个评论 热度 5
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