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mom cap和mim cap的区别

热度 2已有 21178 次阅读| 2008-3-7 11:31

mom cap ( metal oxide metal cap) 从字面理解是利用了不同层次metal之间的oxide做电容的介质层,可以减少面积

mim cap (metal insulator metal cap) 从字面理解是利用了相同层次metal之间的insulator做电容的介质层.面积比较大,但是用到的metal就只有一层,可以减少mask数量.

在相同的电容值下,mim cap面积更大.

个人愚见,欢迎各位技术同仁指教.

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回复 bill_ycsu 2009-2-25 11:23: According to TSMC design rule, the definition of MIM and MOM are: MIM need two different metal layers, and insulator layer is between these two layers. MOM use metal fringe cap, so MOM only require one metal layer, but has area overhead.

回复 standup 2009-10-30 00:14: bill_ycsu got the right answer,MOM cap is the inter-digitalized configure on one metal layer

回复榴莲学长 2022-3-9 19:26: 不对吧，我这边版图得出的结论是，mom电容需要更大的面积，而mim电容需要的面积比mom少（在相同的容值下面），我也是第一次认识这两，也不是很清楚，反正最近要流片，需要到了这个问题，mim电容会多一层mask，所以这边考虑mom电容，但是mom电容导致版图面积变大了

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