$ent@urus tcad 2007.03/12 安装&Cr@ck

需要工具: EFA 0.4b, synopsys sss feature keygen,scl10.9.1d, synopsys install2.0
,sentaurus-tcad安装程序包(common和platform)(大多数可以用emule,各类论坛ftp也有)
操作系统: centos4/5,AS 4/5,ubuntu太折腾没试过。
过程:

1.解压安装scl10.9.1d，在对应平台目录下找到bin/lmhostid运行，得到hostid，记下.

2.解压缩sentaurus 的安装包(common 包和platform包)，得到tgz文件放同一目录。

3.解压缩installer2.0，运行setup.sh图形安装sentaurus

4.生成自己的lic

a.打开efa licgen0.4b目录下packs 目录中sysnopsys.src文件，清空文件内容然后加上后
面附录的内容.

b.运行licgen.exe 选择 sysnopsys.lpd，选中custom选项，填入上面得到的
hostid,gengerate数据文件synopsys.dat

c.在控制台下运行进入synopsys sss feature keygen目录,运行sssverify synopsys.dat得
到secret data(记下),这一步需要在windows下进行。

d.运行 keygen.exe(synopsys sss feature keygen目录)填入上面的secret data和
hostid,产生一个license.dat文件.

e.将上步生成的license.dat中的SSS Feature， 如：
FEATURE SSS snpslmd 1.0 31-dec-2020 uncounted CD39737034546E13C15E
VENDOR_STRING="69656 d1d88 34cc3 31fb7 e96fa 2092d bdaf3 f3cb29bde4 d1f"
HOSTID=001ec9412f26 ISSUER="Team ZWT 2006" NOTICE="Licensed to mammoth//ZWT
2006[PLEASE DO NOT DELETE THISSSS KEY]" SN=RK:1978-0:001224:0 START=1-jan-2006
插入到synopsys.dat里的DAEMONsnpslmd !!!Path_to_snpslmd.exe语句的下面。copy位置可
参考Synopsys SSS FeatureKeygen文件夹下的范例。
ps:若生成的synopsys.dat中已有类似SSS F安装sentaurus

4.生成自己的lic

a.打开efa licgen0.4b目录下packs 目录中sysnopsys.src文件，清空文件内容然后加上后
面附录的内容.

b.运行licgen.exe 选择 sysnopsys.lpd，选中custom选项，填入上面得到的
hostid,gengerate数据文件synopsys.dat

c.在控制台下运行进入synopsys sss feature keygen目录,运行sssverify synopsys.dat得
到secret data(记下),这一步需要在windows下进行。

d.运行 keygen.exe(synopsys sss feature keygen目录)填入上面的secret data和
hostid,产生一个license.dat文件.

e.将上步生成的license.dat中的SSS Feature， 如：
FEATURE SSS snpslmd 1.0 31-dec-2020 uncounted CD39737034546E13C15E
VENDOR_STRING="69656 d1d88 34cc3 31fb7 e96fa 2092d bdaf3 f3cb29bde4 d1f"
HOSTID=001ec9412f26 ISSUER="Team ZWT 2006" NOTICE="Licensed to mammoth//ZWT
2006[PLEASE DO NOT DELETE THISSSS KEY]" SN=RK:1978-0:001224:0 START=1-jan-2006
插入到synopsys.dat里的DAEMONsnpslmd !!!Path_to_snpslmd.exe语句的下面。copy位置可
参考Synopsys SSS FeatureKeygen文件夹下的范例。
ps:若生成的synopsys.dat中已有类似SSS FEATURE，可将其删除。

f.修改synopsys.dat的头两句，如：
SERVER <host_name> 000ae426dd0d 27000
DAEMON snpslmd /usr/sysnopsys/SCL/amd64/bin
snpslmd指向所安装SCL下的snpslmd。host_name为机器名。

g.根据自己的需要创建一个license文件夹，把修改好的synopsys.dat放到license文件夹下

5.环境变量

a、根据自己的安装目录情况配置bashrc，cshell须做相应修改：
# Synopsys license
######################################################
SEN_HOME=/usr/synopsys/Z_2007.03
export PATH=$PATH:$SEN_HOME/bin
######################################################
SCL_HOME=/usr/synopsys/SCL/AMD64
export PATH=$PATH:$SCL_HOME/bin
注：以上两条让我们在桌面打开终端就可以启动程序。
#####################################################
export SNPSLMD_LICENSE_FILE=27000@dell
#####################################################
LM_LICENSE_FILE=/usr/synopsys/license/synopsys.dat:$MGC_LICENSE_FILE
export LM_LICENSE_FILE
注：以上两条为license用，路径根据你synopsys.dat放的位置而定。
######################################################
STDB=/opt/synopsys/STDB
export STDB
注：STDB是指定TCAD软件的项目保存路径，可以根据个人需要创建。
######################################################
LANG=en_US
export LANG
注：这一条很重要。特别在centos5中，无论是登陆界面更改语言还是系统设置中更改语言

都没有用。必须加这一条，否则TCAD启动后不能输入。
######################################################

b、让lic开机自动启动
打开/etc/rc.local，添加下面一句：
/usr/synopsys/SCL/and64/bin/lmgrd -c /usr/synopsys/license/synopsys.dat -l
/synopsys/license/license.log

6.启动
输入GENESISe
have a funny :-).

最后的话
1.运行于64位系统时候

现在能在网上找到的sentaurus 20007 包括3个版本，包括sentaurus 2007.03 的32位和64
位，和sentaurus2007.12的32位版本.据synopsys说2007.12和2007.03差别在于2007.12版本
可以利用gpu进行加速计算，当然不是所有的显卡都可以，要满足两个条件
1.需要下载编译显卡驱动，
2.貌似要nvidio 的8600以上显卡才可以(显卡型号可能有误),具体的可以查看相关文档，有
个专门选项控制是否开启显卡加速.

但是如果你已经安装了64位的os，而又只找到32位安装版本，可以修改 sentaurus_vZ-200
7.12/bin/GENERIC文件欺骗一下软件
[code]
Linux)
    PLATFORMTYPE=`uname -m` # -i
    case $PLATFORMTYPE in
      i686 | i386)
                ARCH=linux
        ;;
      x86_64)
        ARCH=amd64
        if [ $thirty2b = "true" ] || [ ${STBITS:=64} != "64" ] ; then
          ARCH=linux
        fi
        ;;
      ia64)
        ARCH=amd64
        if [ $thirty2b = "true" ] || [ ${STBITS:=64} != "64" ] ; then
          ARCH=linux
        fi
        ;;
      *)              NonSup ;;
    esac
    ;;
[code]

2. 谈谈现在流行的几个商业tcad软件及其渊源

半导体工艺/器件仿真，本质上来说是有限元方法在半导体工业中的应用(想象下ansys或者
fluent一类)，因此tcad和所有的有限元计算一样包含划分网格->确定边界条件->迭代解微
分解方程->收敛性控制 这几个步骤。器件仿真最早始于1964年gummel用数值方法代替解析
方法分析双极性晶体管电特性(一维)。70年代后随着有限元计算的广泛应用，standford 开
始编写基于漂移扩散理论的二维半导体器件模拟软件pisces和工艺仿真SUPREM,现在THU IM
U 的余志平教授(cmos射频集成电路翻译者)当时是pisces主要作者之一。而suprem作者之一
是佛罗里达大学的law教授，他后来又写了另一套tcad软件flooxs，这套软件包括floops和
floods两个模块.

最早pisces是用fortran66写的(后来用fortran77改写了部分命名为pisces2b 放在网上，但
它只包含了基本的漂移扩散模型),当时这个出程序主要运行在unix上，到了90年代后一些公
司才进行商业化，为代码配上前后处理软件，高价出售。 比较成功的产品包括avant!的ta
urus 和medici(就是被cadence骂为骗子和背后捅刀子的那个公司 :-) )，silvaco 的alta
s和athene. 同一个时代另一个在技术上比较成功的公司是ISE-TCAD(不是xilinux的那个产
品哦)，和前两个公司不同的是他着手重写了pisces代码推出了自主的器件仿真程序 dessi
s,他后来购买了前面提到的flooxs软件，作为自己tcad的工艺仿真模块FLOOPS-ISE的雏形,
整合进ISE-TCAD. ISE-TCAD功能非常强大，最后一个版本是ISE-TCAD 10.0,之后被synopsy
s收购,synopsys之前已经通过收购avant!获得了medici以及taurus，这两套软件功能有部分
重合，synopsys花了将近两年时间把它们整合起来了，2005年前后推出了自己的tcad命软件
名为sentaurus-tcad.

对于器件仿真,另外一个值得一提的是奥地利的minimos,它也是根据pises进行的改写，比较
便宜(10欧元)，主要用于教学研究，有好几本专著讨论这个,不过据说代码写得太矫情让人
摸不着头脑[cry](显然那个年代没有像今天autotools这样的打包发布工具 :P)。

大多数tcad软件按照功能可分为3个模块，最底层是工艺仿真模块，比如suprem,athene,ta
urus,FLOOPS-ISE,用来确定标准工艺下材料水平的器件结构结构，标准工艺包括氧化，扩散
，离子注入，干湿法刻蚀，光刻,一些比较新的tcad也包括CMP,以及用于制造SOI衬底的sma
rt cut工艺.仿真主要考虑因素包括 杂质扩散，注入杂质和晶格作用声学模型，各种therm
al budget和机械力下的应力，材料各向异性等等。然后是器件仿真，在前面工艺仿真得到
的器件结构基础上计算电学行为，前面提到的pisces,altas,medici,dessis 都是这个功能
. 最顶层是提参模块，这个是从电学仿真结果提取符合bsim标准的器件参数，用于spice仿
真，我们平时用写网表时，引用的lib文件就是这类参数的list。这类产品包括silvaco的u
tmost，另外cadence好像收购了一个BsimProPlus 的产品也是做这个的，这个软件我没试过
.

现在还在维护更新的商业tcad软件似乎仅存silvaco ,sentaurus两个,占据了绝大部分份额
。以我个人经历而言sentaurus似乎更健壮些，silvaco频繁切换不同模块容易进入假死状态
，用鼠标在屏幕上乱点一番又能接着算，不知道这是否因为他是基于一个比较老内核的二次
开发，而sentaurus得益于ISE-TCAD当年对pisces重写,floopxs也比supreme年青，或者仅仅
是因为破解不完善？。synopsys收购ISE-TCAD后对原来的图形界面进行了改进，现在在易用
性上已和silvaco差不多了，至少在linux平台上是这样。另外他全面兼容ISE-TCAD的指令,
ISE-TCAD用户可能会觉得比较舒服. 在windows平台上，silvaco是重新编译了的，而senta
urus是通过cygwin实现的,效率大打折扣。synopsys好像也没有打算对sentaurus在windows
下进行优化.

从去年开始一家名叫 ESEMI TCAD 的公司也开始做这个，和silvaco，sentaurus相比，它着
重在易用性上下了很多功夫,甚至写了视频的教程，只是功能非常简单，整体而言像个玩具
。当然这套软件还在完善中，silvaco当年也是花了好几年才形成现在的产品线。ESEMI网站
上提供了30天试用，有兴趣同学还是可以试试的.

sentaurus的学习资料似乎很少，manual外本来还有一套turtorial的，我以前在某个学校购
买的套件中见过的，可惜网上下载的安装包都没有这个，学习使用的话可以把ISE-TCAD中的
例子拷贝过来研究,不过一些师弟们似乎仍感觉有点无所适从，等我有时间给写个入门教程
放blog上 呵呵 :-)。 我blog上还有我以前写的一个silvaco的教程.

附录1. src for sentaurus
PACKAGE EFA_Synopsys_1 snpslmd 2019.12 0 COMPONENTS="AdvanceCalibration_all \
sde_all \
sdevice-3d_all \ sdevice-densitygrad_all \ sdevice-ferro_all \
sdevice-floatinggate_all \
sdevice-gateleakage_all \
sdevice-hetero_all \
sdevice-hydro_all \
sdevice-kpgain_all \
sdevice-laser_all \
sdevice-led_all \
sdevice-mixedmode_all \
sdevice-montecarlo_all \
sdevice-noise_all \
sdevice-optic_all \
sdevice-parallel4_all \
sdevice-parallel_all \
sdevice-pmi_all \
sdevice-radiation_all \
sdevice-reliability_all \
sdevice-schroedinger_all \
sdevice-sige_all \
sdevice-thermo_all \
sdevice-traps_all \
sdevice-vectoroptic_all \
sdevice_all \
sdevicemonosemicond_all \
sprocess-an-imp3d_all \
sprocess-parallel4_all \
sprocess-parallel_all \
sprocess2d_all \
sprocess2dmc_all \
sprocess3d_all \
sprocess3dmc_all \
sprocess_all \
sprocessmc_all \
sup2lig_all \
swb-advanced_all \
swb_all \
Sxtract_all \
Tdx_all \
Tecplot_all \
TecplotSmall_all \
Ted_all \
TedSmall_all \
alien2lig_all \
amat-calib_all \
Devise_all \
Devise-3D_all \
Dfisetools-Topo_all \
GENESISe_all \
Noffset-2D_all \
OptimISE-DOE_all \
OptimISE-Iterative_all \
OptimISE-RSMOpt_all \
OptimISE-Statistical_all \
prmspx_visual_all \
sde3d_all \
sdevcie-laser_all \
sparallel_all \
spcmcalib_all \
spcmstd_all \
sprocesskmc_all \
sprocessmpp_all \
sptopography2d_all \
vsea-calib_all" ck=0
PACKAGE EFA_Synopsys_2 snpslmd 2019.12 0 COMPONENTS="AdvanceCalibration_all \
AdvancedCalibration_all \
AN-Impl3D_all \
Dessis-3D_all \
Dessis-BONSIM_all \
Dessis-DensityGrad_all \
Dessis-Ferro_all \
Dessis-FloatingGate_all \
Dessis-GateLeakage_all \
Dessis-Hetero_all \
Dessis-Hydro_all \
Dessis-kpGain_all \
Dessis-kpGain_all \
Dessis-Laser_all \
Dessis-LED_all \
Dessis-MixedMode_all \
Dessis-Mono-Semicond_all \
Dessis-MonteCarlo_all \
Dessis-Noise_all \
Dessis-Optic_all \
Dessis-Parallel4_all \
Dessis-Parallel_all \
Dessis-PMI_all \
Dessis-Radiation_all \
Dessis-Reliability_all \
Dessis-Schroedinger_all \
Dessis-SiGe_all \
Dessis-Thermo_all \
Dessis-Traps_all \
Dessis-VectorOptic_all \
Dessis_all \
Dfisetools_all \
Dios-3D_all \
Dios-MC_all \
Dios-PDEF_all \
Dios-SDO_all \
Dios_all \
DiosSmall_all \
Dip_all \
Emlab-Dessis_all \
Emlab-Farfield_all \
Emlab-Nonuniform-2D_all \
Emlab-Nonuniform-3D_all \
Emlab-Static_all \
Emlab-Thermal_all \
Emlab-Uniform-2D_all \
Emlab-Uniform-3D_all \
Emlab_all \
emw-farfield_all \
emw-nonuniform-2d_all \
emw-nonuniform-3d_all \
emw-sdevice_all \
emw-static_all \
emw-thermal_all \
emw-uniform-2d_all \
emw-uniform-3d_all \
emw_all \
Floops-1D-MC_all \
Floops-1D_all \
Floops-2D-MC_all \
Floops-2D_all \
Floops-3D-MC_all \
Floops-3D_all \
Floops-Parallel4_all \
Floops-Parallel_all \
Inspect_all \
Interfise_all \
ISExtract_all \
Ligament_all \
LigamentFE_all \
Mesh1D_all \
Mesh2D_all \
Mesh3D_all \
Noffset-3D_all \
ParDiSo_all \
Prolyt_all" ck=0
FEATURE EFA_Synopsys_1 snpslmd 2019.12 31-dec-2019 9999 0 VENDOR_STRING=^1Platf
orm:ALL+S SUPERSEDE ISSUER=SYNOPSYS ISSUED=11-jul-2001 ck=0SN=SL:2100-0:100000:
0 START=11-jul-2001
FEATURE EFA_Synopsys_2 snpslmd 2019.12 31-dec-2019 9999 0 VENDOR_STRING=^1Platf
orm:ALL+S SUPERSEDE ISSUER=SYNOPSYS ISSUED=11-jul-2001 ck=0SN=SL:2100-0:100000:
0 START=11-jul-2001