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JDV指在版图数据送往工艺厂流片前,由工艺厂返回的mask图像数据,用于对比、验证版图数据的正确性。确保制造过程中不会出现错误,从而避免因数据偏差导致的芯片报废风险。该验证环节是流片前的最后检查,出错概率极低但需严谨对待。
流程:
晶圆厂(或代理商)会发个IP地址与账号、密码,登录;
选择右边“Launch Application”,在弹出的窗口,选择File→Load...→对应的文件;
调整方向使得方向标志为正,View→Set Level→选择层次;
检查die的方向、面积是否正确,检查划片槽是否正确;
检查mask层数是否一致,是否存在缺失、多余mask的情况,dummyblock区域是否起作用;
检查mask对应的clear/dark,即光刻胶的positive/negetive是否正确并记录;
若工艺存在shrink,检查shrink是否正确,若存在bias记录差值;
检查是否有OPC(Optical Proximity Correction-光学邻近效应修正)并记录。
若fab厂给出了masktool,检查其是否有错误layer或layer缺失,mask house的boolean运算是否正确并记录;
若存在异常与fab沟通确认。
注意事项:
最终gds需要经过fab厂处理,譬如由fab厂添加dummy、slot、scribeline上的PCM device的添加等情况下,需要特别仔细检查JDV以免fab厂家处理与设计要求不符合;
若上传过多次gds,需要确保JDV为最新的tapeout数据;
若进行mpw,和其他公司芯片拼版,可能会遇到使用的Metal层数不同,在JOB View时会有一些layer重复出现的现象,先和代工厂确认,一般来说只需要关注自己的Metal layer是不是对的;比如TSMC虽然共用mask,但不共用Wafer,最终我们的芯片生产出来,是不会有重复Metal的;
OPC分为三种:线宽变化最小、减小线端缩短和方角修正,例如: