Bin.wang的个人空间 https://blog.eetop.cn/?1779684 [收藏] [复制] [分享] [RSS]

日志

JDV(Job Deck View)流程及注意事项

热度 1已有 342 次阅读| 2025-8-27 15:13 |系统分类:芯片设计

JDV指在版图数据送往工艺厂流片前,由工艺厂返回的mask图像数据,用于对比、验证版图数据的正确性。确保制造过程中不会出现错误,从而避免因数据偏差导致的芯片报废风险。该验证环节是流片前的最后检查,出错概率极低但需严谨对待。

流程:

  1. 晶圆厂(或代理商)会发个IP地址与账号、密码,登录;

  2. 选择右边“Launch Application”,在弹出的窗口,选择File→Load...→对应的文件;

  3. 调整方向使得方向标志为正,View→Set Level→选择层次;

  4. 检查die的方向、面积是否正确,检查划片槽是否正确;

  5. 检查mask层数是否一致,是否存在缺失、多余mask的情况,dummyblock区域是否起作用;

  6. 检查mask对应的clear/dark,即光刻胶的positive/negetive是否正确并记录;

  7. 若工艺存在shrink,检查shrink是否正确,若存在bias记录差值;

  8. 检查是否有OPC(Optical Proximity Correction-光学邻近效应修正)并记录。

  9. 若fab厂给出了masktool,检查其是否有错误layer或layer缺失,mask house的boolean运算是否正确并记录;

  10. 若存在异常与fab沟通确认。

注意事项:

  1. 最终gds需要经过fab厂处理,譬如由fab厂添加dummy、slot、scribeline上的PCM device的添加等情况下,需要特别仔细检查JDV以免fab厂家处理与设计要求不符合;

  2. 若上传过多次gds,需要确保JDV为最新的tapeout数据;

  3. 若进行mpw,和其他公司芯片拼版可能会遇到使用的Metal层数不同,在JOB View时会有一些layer重复出现的现象,先和代工厂确认,一般来说只需要关注自己的Metal layer是不是对的;比如TSMC虽然共用mask,但不共用Wafer,最终我们的芯片生产出来,是不会有重复Metal的;

  4. OPC分为三种:线宽变化最小、减小线端缩短和方角修正,例如:

图片.png

1

点赞

刚表态过的朋友 (1 人)

评论 (0 个评论)

facelist

您需要登录后才可以评论 登录 | 注册

  • 0

    周排名
  • 8

    月排名
  • 0

    总排名
  • 1

    关注
  • 2

    粉丝
  • 2

    好友
  • 11

    获赞
  • 2

    评论
  • 26

    访问数
关闭

站长推荐 上一条 /1 下一条


手机版| 小黑屋| 关于我们| 联系我们| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2025-9-13 14:08 , Processed in 0.019119 second(s), 7 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
返回顶部