日志
为什么埋层一部分在衬底中一部分在外延层中？
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为什么埋层一部分在衬底中一部分在外延层中
在淀积外延层之前，埋层的位置如下图1示意；在淀积过程中，外延膜和晶圆的交界面会产生“外溢扩散”的现象，外溢扩散的原子来源于外延淀积前扩散到晶圆内的掺杂源，即埋层。在淀积过程中，原子扩散出来与外延膜的底部结合，使浓度发生变化。极端情况下，埋层可能扩散出来进入到双极型器件的结构内，引起电性能失效。这就是为什么画的示意图中，埋层一部分在衬底中一部分在外延层中。
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在淀积外延层之前，埋层的位置如下图1示意；在淀积过程中，外延膜和晶圆的交界面会产生“外溢扩散”的现象，外溢扩散的原子来源于外延淀积前扩散到晶圆内的掺杂源，即埋层。在淀积过程中，原子扩散出来与外延膜的底部结合，使浓度发生变化。极端情况下，埋层可能扩散出来进入到双极型器件的结构内，引起电性能失效。这就是为什么画的示意图中，埋层一部分在衬底中一部分在外延层中。
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