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分享 polycide, silicide &salicide: Young_W 2010-8-20 10:05; SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE （转载）工艺中经常会碰到。。呵呵。。权当抛砖引玉了,不准确的地方还希望大家指出讨论之～～首先，这三个名词对应的应用应该是一样的，都是利用硅化物来降低POLY上的连接电阻。但生成的工艺是不一样的，具体怎么用单独的中文区分 ...; 个人分类: 小知识汇|2007 次阅读|0 个评论

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