日志

关于sentaurus仿真的一些经历

已有 14213 次阅读| 2012-8-4 20:51

sentaurus是现在对器件电学特性仿真的主要工具，几乎涵盖了所有的微电子器件的各种性能的仿真，其中最主要的是对器件电学特性的仿真。

对于电极部分，常出现的一个问题就是对势垒和共函数的设置不合理导致阈值电压的不合理，其实对于多晶栅，建议采用默认的参数，也就不再另外设置势垒或者共函数，软件会自动根据掺杂情况进行势垒等的计算，仿真出来的阈值电压相对更准确，如果人为的设置了势垒或者功函数，则软件默认为金属栅，会忽略一些多晶栅实际电学特性里的一些问题，比如多晶耗尽等的影响，仿真出来的电学特性虽然看上去更理想，但和实际的器件性能的差异会更大。

对于SOI仿真常出现的一个问题是不收敛，这个时候对衬底电极的位置和仿真模型的选择比较关键。