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如下资料来源:
1. 纳米集成电路制造工艺(第二版)
2. https://www.cnblogs.com/guanrongda-KaguraSakura/p/13311308.html
首先了解:N型半导体和P型半导体的定义
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。
超纯的单晶硅是本征半导体,基本上不导电。
准金属:又称半金属或类金属,是一种性质介于金属和非金属之间的元素。包括硼、锗、砷、锑、硒、碲 等,他们在元素周期表中位于金属向非金属过度的位置。
电导率:用来描述物质中电荷流动难以程度的参数,符号“σ”,标准单位是西门子/米,为电阻率p的倒数,σ=1/p,如果G是电导,I是电流,U是电压,则G=I/U,电导率σ=GI/A,其中G是电导,I是导体长度,A是导体的截面积。电导和电阻的关系G=1/R。
本征半导体:是指完全不含杂质且无晶格缺陷的纯净半导体。电子和空穴浓度相等,导电性相对较差。
在硅晶体中掺入微量的VA族杂质原子(如磷、砷、锑等),形成N型半导体;
主要载流子:电子(带负电);
杂质原子和硅原子形成共价键结构时,外围5个电子:4个共价键,1个不受共价键成为自由电子,所以N型 半导体是电子浓度较高的半导体,导电性主要是因为自由电子导电。
在硅晶体中掺入微量的ⅢA族杂质原子(如硼、铟等),形成P型半导体;
主要载流子:空穴(带正电);
原因:杂质原子和硅原子形成共价键结构时,外围3个电子:留下一个空缺,即空穴,空穴被其他临近的电子补上,补位的电子原先的位置留下一个新的空穴,空穴的转移视为正电荷的运动。
N型半导体和P型半导体,掺杂的杂质浓度越高,半导体导电性越好,电阻率越低。
接下来,详述PN结二极管
在一块完整的硅片上,不同掺杂工艺使一边形成N型半导体,另一边形成P型半导体,两种半导体的交接面附近的区域称为PN结。
P型区和N型区之间的界面就称为PN结,或简称为结。
P型半导体和N型半导体结合后,交界处出现了电子和空穴的浓度梯度,会产生扩散;
P区空穴为多子,电子为少子;N区电子为多子,空穴为少子;
所以:空穴从P区向N区扩散,留下带负电的电离受主杂质(空穴与N区扩散的电子复合)
电子从N区向P区扩散,留下带正电的电离施主杂质(电子与P区扩散的空穴复合)
开路中半导体中的离子不能移动,在P区和N区交界面附近,形成了一个空间电荷区,由于正负电荷的相互作用,并在内形成”内建电场“,方向:N->P。
解释:N型硅中过量的空穴提供了正电,P型硅中过量的电子提供了负电,PN节两侧形成电压,N型区相对于P型区为高电位;
N型区一侧是带正电的电离施主杂质,P型区一侧是带负电的电离受主杂质,N型取相对于P型区为高电位;
所以,两种电压叠加,形成了内建电场。
扩散作用越强,空间电荷区越宽,势垒越大,势垒是由内部载流子扩散形成,所以称为内电场。
电场方向与载流子扩散运动相反,阻止载流子进一步扩散。少数载流子在电场存在时发生漂移,N区少数载流子空穴被吸引到电位为负的P型区,P区少数载流子电子被吸引到电位为正的N型区。即,漂移的方向与扩散运动相反,P区漂移N区的电子补充了N区扩散失去的电子,N区漂移P区的空穴补充了P区扩散失去的空穴,这使空间电荷减少,内建电场减弱。
因此,漂移运动的结果是:空间电荷区变窄,扩散运动加强
当扩散电流和漂移电流大小相等,方向相反时建立平衡。随着结电压达到平衡,结两侧的过量少子浓度也达到平衡值。P型半导体和N型半导体的结合面两侧,留下离子薄层,离子薄层形成的空间电荷区称为PN结。PN结的内建电场方向N区指向P区。在空间电荷区缺少可移动载流子的高阻区,所以也称之为耗尽区或阻挡层。.
总结:PN结,存在扩散和漂移两种运动,扩散运动会使空间电荷区变宽,内电场加大;内电场又阻止多子扩散,增强少子漂移,使空间电荷区变窄,削弱内电场,内电场削弱,扩散运动增强…… 如此反复,最终建立平衡,平衡时PN结电压称为内建电势差,或接触电压。
耗尽区的厚度取决于结两侧的掺杂水平,轻掺杂为了足够的杂质原子建立内建电场需要较宽的硅层;若重掺杂则很窄的耗尽区就能建立所需电场。若结的一侧远远高于另一侧,耗尽区向轻掺杂的方向延伸的更多。(N型区比P型区掺杂轻很多)
空间电荷区的内建电势差公式
最后了解工作原理
二极管有两个引线端,与P型区相连的叫阳极,与N型区相连的称为阴极。按照箭头指向单向导电。
将可调电压源连接二极管
1. 若电压源置零,二极管处于零偏状态,没有电流流过零偏二极管。
2. 若阳极连接电源负极,阴极连接电源正极,二极管处于反偏。外场强的方向与内建电场的方向相同,P区的空穴向电源负极移动,N区的电子向电源的正极移动,电子空穴远离耗尽区,耗尽区变宽,阻止扩散,扩散电流接近于零。PN结内只存在漂移电流,漂移电流是由少数载流子形成的,浓度是一定的,不随外加电压的变化而变化,外加反向电压形成的偏移电流称为PN结反向电流,也称为反向饱和电流,此时,PN结呈现一个很大的电阻,截止状态。当PN结的反向偏压较高时,会产生由于碰撞电离引发的电击穿,即雪崩击穿。存在于半导体晶格中的自由载流子在耗尽区电场的作用下被加速,其能量不断增加,直到与半导体晶格发生碰撞,碰撞过程释放的能量可能使价键断开产生新的电子-空穴对。新的电子-空穴对又分别被加速与晶格发生碰撞,若平均每个电子(空穴)在经过耗尽区的过程中可以产生大于1的电子-空穴对,那么该过程不断被加强,最终耗尽区载流子数目激增,PN结发生雪崩击穿。
3. 若二极管的阳极连接电源正极,阴极连接电源负极,二极管正偏,有很大电流通过。这时外场强的方向与内建电场方向相反,P区的空穴向空间电荷区移动,与空间电荷区的负离子结合,N区的电子也向空间电荷区移动,与空间电荷区正离子复合,所以空间电荷区变窄,扩散运动大于漂移运动,产生较大扩散电流。外加电压越大,正向电流越大,空间电荷区变窄,使PN结电阻率很小,此时PN结处于导通状态。随着正向电压不断增加,最终电流将成指数性增加。