| ||
Process Antenna Effect,PAE-----------------------------
等离子刻蚀时,暴露在离子束下的金属或poly会积累电荷(就像一根天线一样,收集电荷)而产生电势,积累的电荷与暴露在离子束下金属面积成正比;如果积累了足够电荷的一根长金属线或POLY直接连接到MOS管的GATE上时,就会放电,栅氧会被击穿,导致芯片失效。
在金属互连线的制造过程中会产生大量游离电荷,对于游离电荷来说,一边是二氧化硅绝缘体材料,一边是金属,自然会往金属上聚集,金属像海绵把周围的水吸收进来。当积累的电荷逐渐变多,电势变高,金属就会找地方放电,越长的金属容易收集到更多的电荷,更容易引起天线效应。
antenna ratio(天线比)定义为:构成所谓天线的导体面积与其相连的栅面积之比,比值越大天线效应越容易发生(这个值与工艺有关,常见为300:1),随着工艺尺寸越来越小,天线效应发生的可能越来越高;
消除天线效应的方法:就是要想办法减小antenna ratio;使直接连接到栅的导体面积变小;
1.跳线法
采用跳线法,断开存在天线效应的金属M1,一根长金属M1连接到GATE上,收集足够的电荷后,产生的电势超过栅氧承受的击穿电压后,栅氧被击穿
2. 添加天线器件
在存在天线效应的导体上添加反偏的二极管,为积累的电荷提供一个泄放回路,这样积累的电荷就不会对栅氧造成损坏,从而消除天线效应;
3. 插入缓冲器Buffer
通过在直接连接到栅的导体上插入缓冲器来切断长线消除天线效应
版权声明:本文为CSDN博主「Edwin_sunny」的原创文章,遵循CC 4.0 BY-SA版权协议,转载请附上原文出处链接及本声明。
原文链接:https://blog.csdn.net/Edwinchi/article/details/115372607