2023/7/13
1、需要填充的top版图;
2、相关填充Dummy Metal和Dummy OD/POLY 的rule文件。
因为填充Dummy Metal和Dummy OD/POLY的方法一样,故这里以填充Dummy Metal为例详细介绍相关步骤。
打开需要填充的版图,运行Calibre—nmDRC,弹出相应对话框;Rules选项卡中:
DRC Rules File:填入相关Dummy Metal rule文件;DRC Run Directory:填入后续生成gds文件的位置Run:建议选择Flat;这样后期修补dummy时比较方便(个人感受);
Flat和Hierarchical区别:选择Flat时,生成的dummy文件是一个整体的cell文件;而选择Hierarchical时,生成的dummy文件是由很多dummy cell模块组成的。这里各位可以自己实际操作下就明白了。
DRC Results Database—File:将文件命名为“XXX_DM.gds”;Format:选择GDSII;Cell suffix:后缀栏填写“_DM”点击Setup-DRC Options;在选项卡中选择“All”;点击Run DRC,等程序运行结束后,回到步骤1设置的路径中,可以看到已经生成了“XXX_DM.gds”的文件。打开CIW(Cadence Interaction Windows)窗口,点击File-Import-Stream…,弹出如下对话框;Stream File:选择上述生成的“XXX_DM.gds”的文件;Library:选择要导入的库(一般选择和需要填充版图相同的库);Technology-Attach Tech Library:选择对应项目用到的技术库;最后点击Translate;等程序运行完,打开Library Manager 找到导入的库,会看到对应的Dummy文件已经生成 。回到需要填充的版图中,按“I”将步骤6中生成的dummy文件调入到版图中;选中dummy,按“q”,弹出如下对话框,将Origin:X与Y 改为:(0 0)。
(需要说明:填充完dummy后不代表DRC Density就一次性能过,还需要重新跑DRC来验证Density是否满足相关rule要求,正常还需要对填充dummy的文件进行修补。) 填充Dummy OD/PO步骤和填充Dummy Metal一样,但在Outputs选项卡中:DRC Results Database—File:将文件命名为“XXX_DODPO.gds” Cell suffix:后缀栏填写“_DODPO”