日志
基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统
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| 基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统是由深圳市易捷测试技术有限公司设计开发。采用10keV X射线作为辐射源开展效应试验，不仅易于实施，节省资金，在器件封装前即可对器件的抗辐射水平给出评估，是一种可行的评估器件总剂量水平的手段。10keV X射线辐射源系统可以用于完成（1）特定结构器件的基本辐射响应分析（2）用过实验结果跟踪给定工艺的加固情况（3）迅速提高批量生产的芯片的加固情况反馈。相对60Co γ射线辐射源而言，基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统体积小，占地面积小，适合于实验室与工厂的生产线上使用，而且操作简单，调节方便，通过面板进行参数设置与操作，可精确控制辐射剂量率，且可调辐射剂量率范围较大。设备安全性好，仪器周边的辐射量与普通环境无差别。 |
系统工作原理：、
X射线源出射的X射线经准直后形成一个均匀的辐照光斑，辐照到实验样品上，产生的效应信号由探针台的探针测量，传输到监视控制单元，由监视控制单元统一记录处理，达到辐射效应实时测试的目的。该方法将为半导体材料和集成电路的抗辐射效应研究及试验评估提供一套完整的、系统性的抗辐照测试方案，对抗辐射效应研究具有重大意义。
系统测量测试设备：网分仪、信号分析仪、示波器、阻抗、半导体参数分析仪
系统集成商：深圳市易捷测试工技术有限公司
www.gbit.net.cn
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