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密度问题
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为了保证chip的平坦度要求我们在最后layout时金属密度在20%--85%之间，因此需要填充metal dummy来达到density的要求。
下面介绍使用calibre来实现metal dummy的填充，语法简单方法也简单可采用图形化在线式操作运行calibre DRC 即可产生。
首先假设metal dummy 是1X2 的长方形，我们填充的方向和metal single走向一致
沿用drc文件层次定义
LAYER M1 61 DATATYPE 0
LAYER M2 62
LAYER NWELL 6
LAYER SP
LAYER M1DUMMY 61 DATATYPE 1
..............................
..............................
M1BANK = BULK NOT M1
MIFILL = SIZE M1BANK BY -1 ;this is where we will add dummy metal1
dummyM1 {
RECTANGLES 1 2 1
INSIDE OF LAYER Y
}
DRC CHECK MAP dummyM1 GDSII 61 1 './DUMMY_FILL.gds'
对M2 M3 .......metal层采用类似的语法把dummy层保存到DUMMY_FILL.gds的文件里
然后倒入该gds文件找到TOP层cell，一般就一个cell，把该cell的dummymetal复制到
你设计好的layout TOP cell中，注意原点要对齐即可。
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