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关于前段工艺和后端工艺的理解

已有 5332 次阅读| 2017-10-11 10:10 |系统分类:硬件设计

其实很久以前就接触过前端工艺（FEOL）和后端工艺（BEOL），但是以前没有详细的理解过这两个概念，今天看资料的时候有看到了这两个概念，就做一次彻底的了解吧。

前端工艺（FEOL）：front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺，也可以理解为晶体管的尺寸大小，例如FEOL.5。通常指NW，AA，SP，SN.........

后端工艺（FEOL）：front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之后的工艺，金属互联层，也可以理解为metal的尺寸大小，例如BEOL.35。通常指CONTACT,M1,V1,M2,V2........

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