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Deep Nwell版图画法
在“几种衬底及隔离的介绍”中已经介绍了triple-well(以下简称TW)与deep-nwell (以下简称DNW) 是存在区别的。本篇则详细介绍
以下简称nwell为NW,pwell为PW,被nwell/deep-nwell包围的pwell为(isolated Pwell)IPW,substrate为Sub.
一、第一种画法(DNW层画在NW层中)
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二、第二种画法(NW层以path的形式包裏DNW层的边缘)
三、不同电位NW
无论是哪种画法,不同电位的NW必须分开。值得注意的是DNW也是N型的,所以不同电位的NW不可以通过DNW相连。
四、不同电位Sub
不同电位Sub画法可以与不同电位NW画法一样(各自独立),当然因为NW电位相同时,一般会将其合并以节省面积,所以图中画在一起的NW电位是相同的。上图右为第二种画法,DNW层可以合并在一起,中间仅以NW相隔即可。
五、MOSCAP
MOSCAP通常可以理解为NMOS制作在NW中,此时NMOS下极板与NW相连,因此电位相同,而且通常接GND, 所以这样的NW也必须与其他NW单独开。
六、RF MOS管
无论PMOS还是NMOS都会在底部加上DNW以减小Noise造成的影响。
七、其他
还有需要注意的是,有些特殊器件是直接制作在Sub上,对于这些器件是不能,也不可以用DNW将其隔离开的。