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xiats 2012-5-4 11:52: 您好，请问itf文件中如何知道metal层是如何嵌入氧化层的？ DIELECTRIC IMD8d {THICKNESS=3.25 ER=4 } DIELECTRIC IMD8c {THICKNESS=0.12 ER=7 } DIELECTRIC IMD8b2 {THICKNESS=0.03 ER=4 } CONDUCTOR metal8 {CRT1=0.00385 CRT2=8.58e-07 THICKNESS=3.40 WMIN=1.50 SMIN=1.50 RPSQ=0.00496 RESISTIVE_ONLY_ETCH=0.0667 } DIELECTRIC IMD8b1 {THICKNESS=0.68 ER=4 } DIELECTRIC IMD8a {THICKNESS=0.075 ER=7 } 例如上面的语句，是否是IMD8d，IMD8c，IMD8b2,metal8,IMD8b1,IMD8a按顺序长上去，还是IMD8d,IMD8c,IMD8b2和metal8在一层？因为IMD8d,IMD8c,IMD8b2的总层厚刚好和metal8一样，而金属层事实上是金属与氧化物混在一起的。