日志

Electrical Parameters for Resistance -continued

已有 767 次阅读| 2019-10-22 10:41 |个人分类:Analayout|系统分类:芯片设计| layout

关于金属方块阻值是很重要的，比如在走power线的时候，走的比较长，压降比较大，这时候就需要精确计算金属的方块阻值了，不同Foundry的不同工艺都略有差异，具体用哪个工艺可以具体看rule，不过作为layout design 心里应该有个大概的范围：

MagnaChip 018 1P7M:

Metal sheef Resistance:
Parameter                              Typ
M1                                       110 mΩ/□
Inter Metal(2~6) 90 mΩ/□
Thick Top metal(2um)    21 mΩ/□
Thick Top metal(3um)            15 mΩ/□
Thick Top metal(4um)            11 mΩ/□

Via(1~5) 5.5Ω/hole

Via6 3Ω/hole

TSMC 018 1P6M：
Metal sheef Resistance:
Parameter    Resistance Typ    Current Density
M1                                        78 mΩ/□ 1mA/um
Inter Metal(2~5) 78 mΩ/□    1mA/um
Thick Top metal(8k)               36 mΩ/□    1.6mA/um
Thick Top metal(15k) 15 mΩ/□    3mA/um
Thick Top metal(30k) 8.9 mΩ/□ 6mA/um