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天线效应和解决措施

热度 1已有 3301 次阅读| 2019-10-12 09:42 |个人分类:版图设计基础知识|系统分类:芯片设计

天线效应：在芯片生产过程中，暴露的金属线或者多晶硅等导体，就象是一根根天线，会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长，收集的电荷也就越多，电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS的栅，那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿，使电路失效，这种现象我们称之为“天线效应”。随着工艺技术的发展，栅的尺寸越来越小，金属的层数越来越多，发生天线效应的可能性就越大。

解决措施：

●跳线法

●添加天线器件，给“天线”加上反偏二极管。(不能影响正常的功能)

●给所有器件的输入端口都加上保护二极管。对于上述方法都不能消除的长走线上的PAE,可通过插入缓冲器，切断长线来消除天线效应。