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Deep Nwell版图画法(转)

已有 6857 次阅读2013-7-24 10:42

Deep Nwell版图画法



在“几种衬底及隔离的介绍”中已经介绍了triple-well(以下简称TW)deep-nwell (以下简称DNW) 是存在区别的。本篇则详细介绍 deep-nwell 在版图的具体画法。但无论哪种画法最终形成的deep-nwell是一致的,剖面图如下图所示:

Deep <wbr>Nwell版图画法


以下简称nwellNWpwellPW,被nwell/deep-nwell包围的pwell(isolated Pwell)IPW,substrateSub.


一、第一种画法(DNW层画在NW层中)

Deep <wbr>Nwell版图画法 


二、第二种画法(NW层以path的形式包裏DNW层的边缘)

 

Deep <wbr>Nwell版图画法 

三、不同电位NW



Deep <wbr>Nwell版图画法 




无论是哪种画法,不同电位的NW必须分开。值得注意的是DNW也是N型的,所以不同电位的NW不可以通过DNW相连。


四、不同电位Sub



Deep <wbr>Nwell版图画法 




不同电位Sub画法可以与不同电位NW画法一样(各自独立),当然因为NW电位相同时,一般会将其合并以节省面积,所以图中画在一起的NW电位是相同的。上图右为第二种画法,DNW层可以合并在一起,中间仅以NW相隔即可。


五、MOSCAP

MOSCAP通常可以理解为NMOS制作在NW中,此时NMOS下极板与NW相连,因此电位相同,而且通常接GND, 所以这样的NW也必须与其他NW单独开。


六、RF MOS

无论PMOS还是NMOS都会在底部加上DNW以减小Noise造成的影响。


七、其他

还有需要注意的是,有些特殊器件是直接制作在Sub上,对于这些器件是不能,也不可以用DNW将其隔离开的。

发表评论 评论 (4 个评论)

回复 xiaohe19889 2013-7-26 15:56
:loveliness:
回复 Susandada 2015-4-24 10:32
看不到图了。。向楼主求图片~1910148562
回复 caesar_zhang 2016-10-13 10:29
是的,看都不到图了

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